為何高端MEMS加工紛紛轉(zhuǎn)向藍(lán)寶石晶片?
2025 / 08 / 28
在微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的世界里,我們正在不斷地將機(jī)械結(jié)構(gòu)、傳感器、執(zhí)行器乃至整個(gè)系統(tǒng)微型化,集成到微米甚至納米尺度的芯片上。從智能手機(jī)中的加速度計(jì)和陀螺儀,到汽車的安全氣囊壓力傳感器,再到未來(lái)的可穿戴醫(yī)療設(shè)備,MEMS技術(shù)無(wú)處不在。而在這個(gè)精密的微觀世界里,材料的選擇是決定器件性能、可靠性和成本的關(guān)鍵。近年來(lái),藍(lán)寶石晶片憑借其一系列卓越的物理和化學(xué)特性,正逐漸從眾多材料中脫穎而出,成為高端MEMS加工中不可或缺的理想襯底材料。