類型 | 型號(hào) | 厚度/um | 分辨率 /um | 作用光譜 | 工藝應(yīng)用 | |
Lift-Off光刻膠 | LN 218系列 | 4-12 | 2 | i-line | lift off負(fù)性光刻膠,倒角66-80° | |
LN 246系列 | 2-7 | 2 | i-line | |||
nLOF系列 | 2-11 | 0.5 | i-line | lift off負(fù)性光刻膠,耐高溫;可用于RIE工藝 | ||
5214 | 1-2 | 0.5 | broad band | 反轉(zhuǎn)膠;可用于lift off工藝、常規(guī)正膠工藝 | ||
LOL2000 | 0.13-0.3 | 0.5 | broad band | 雙層膠工藝 | ||
LOR/PMGI-SF | 0.1-7 | 0.5 | broad band | 雙層膠工藝 | ||
以上厚度均為單次涂覆厚度;分辨率一般為極限分辨率。 | ||||||
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